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Spellman은 정전기 웨이퍼 "Chuck" 모듈의 새로운 ESC 패밀리를 소개한다.

Tuesday, June 28, 2011

고전압 도입자는 반도체 시장을 위한 새로운 시리즈를 발표한다.

2011년 6월 28일 – International Trade Fair International Trade Fair 새로운 ESC 시리즈 정전기 척 고전압 전력 공급 장치 도입을 발표하였다.

ESC 시리즈는 반도체에 기반한 정전기 척 웨이퍼 응용을 위해 요구된 선명하고 정확하며 쉽게 제어할 수 있는 전압을 특징으로 한다. 이러한 잘 조절된 공급 장치는 긴 공정 주기 동안 웨이퍼를 정확하게 보호한다. 관련된 유동 중심 탭 포인트를 가진 실제 유동 이극성 출력을 특징으로 하는 유닛에 추가하여 접지 참조 복원 가능한 출력에 대해 각 형식을 이용할 수 있다.

ESC

포괄적 고장 진단 전기 회로망은 전원 공급장치 기능성을 모니터링하고 사용자 인터페이스와 상태 정보를 통신한다. Spellman의 ESC 시리즈 전원 공급장치는 최소 시스템 공간을 요구하는 OEM 설치를 위해 설계된 콤팩트한 경량의 패키지에 보관된다.

ESC 시리즈에 관한 기술 문헌 및 추가 정보는 다음 링크를 통해 얻을 수 있다:
www.spellmanhv.com/datasheets/esc

Spellman 및 넓은 범위의 고전압 제품에 관한 정보는 +1-631-630-3000로 연락을 취하거나 웹 사이트를 방문하여 얻을 수 있다: www.spellmanhv.com

Spellman High Voltage Electronics은 고객 사용자 지정 표준 AC-DC 및 DC-DC 고전압 전력 변환장치 및 의료, 산업, 반도체, 보안, 분석, 실험 및 해저 케이블 전력 피드 응용을 위한 Monoblock® X-선 소스의 글로벌 선도적 제작사이다. 미국, 영국, 멕시코, 중국 및 일본 내의 설계, 제작 및 서비스 시설 및 유럽, 아시아 및 북미 전역에 직접 영업 사무소를 개설하고 있다. Spellman은 세계 전역의 선진 시스템 사업자 및 고객 지원을 적극 추진하고 있다.

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